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No.R04P0189

最新 実用真空技術総覧

出版日 2019年2月
価格
印刷タイプ 62,640円(税込)
ページ数 B5判 1096ページ
発行<調査・編集> (株)エヌ・ティー・エス

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レポート内容

■ポイント■
 ・旧版より30年間の進展を凝縮し、基礎から応用・実用までを網羅。
 ・現場実務に役立つよう、応用技術事例を、図表を多数使用して掲載。

-CONTENTS-

《第1部 真空工学の基礎》

【第1編 希薄気体の性質】
<1>概説
1.真空技術の歴史
2.圧力の単位
3.圧力領域による真空の分類
4.理想気体の性質

<2>気体分子運動論
1.気体分子の運動
2.気体分子の平均速さ
3.気体分子運動論による気体の圧力
4.平均自由行程
5.入射頻度
6.輸送現象
7.分子流領域での輸送現象

<3>希薄気体の流れ
1.流れの分類
2.気体の流量
3.コンダクタンス
4.粘性流領域でのコンダクタンス
5.分子流領域でのコンダクタンス
6.中間流領域でのコンダクタンス

<4>気体の吸着と脱離
1.気体の吸着
2.気体の脱離
3.吸着平衡
4.気体の溶解、拡散、透過

<5>低圧放電とプラズマ
1.プラズマの概要
2.プラズマの運動と輸送
3.プラズマの生成機構
4.直流放電のモード
5.直流グロー放電プラズマの構造
6.RF容量結合型プラズマ
7.RF誘導結合型プラズマ

<6>排気系の基礎
1.排気過程
2.真空ポンプの選定

【第2編 真空ポンプ】
<1>真空ポンプ 序論
1.はじめに
2.到達圧力
3.排気速度
4.他の用語

<2>低真空ポンプ
1.油回転ポンプ
2.ルーツポンプ
3.ドライポンプ
4.スクリュー式ドライ真空ポンプ
5.NEGポンプ

<3>高真空ポンプ
1.拡散ポンプ
2.ターボ分子ポンプ
3.クライオポンプ
4.スパッターイオンポンプ
5.チタンサブリメーションポンプ

【第3編 真空計測器】
<1>全圧計
1.絶対圧計測計
2.分子密度計測計
3.最近の進歩
4.真空計の校正方法
5.真空計の校正の不確かさ

<2>分圧計
1.装置の原理
2.質量スペクトルの解釈
3.分圧の求め方
4.分圧計の選択
5.分圧計の応用

【第4編 真空部品】
<1>バルブ
1.真空バルブ
2.高速遮断バルブ
3.可変リークバルブ
4.大口径ゲートバルブ

<2>配管接続部品
1.フランジ
2.超高真空フランジ
3.非フランジ継手とバルブ
4.接続用成形配管
5.金属ベローズ

<3>バッフル、トラップ
1.バッフル
2.トラップ

<4>導入部品
1.電流導入端子
2.ガス、液体導入端子
3.運動導入部品
4.ビーム導入

<5>真空中加熱冷却部品
1.加熱源
2.試料冷却部品

【第5編 真空材料】
<1>構造材料
1.鉄鋼
2.アルミニウム合金
3.その他材料

<2>部品材料と機能材料
1.金属材料
2.セラミックス
3.シーリンググリース・真空ポンプ油
4.真空用潤滑剤

【第6編 真空装置の取扱い】
<1>真空装置の管理
1.真空装置の到達圧力を決める要因
2.真空排気特性管理の方法
3.真空の質の管理方法

<2>材料の洗浄・表面処理(清浄化)
1.真空部品の洗浄
2.真空用表面処理
3.真空用表面処理と洗浄工程の詳細
4.その他の真空用表面処理
5.表面処理・洗浄後のガス放出速度

<3>脱ガス処理
1.真空排気過程
2.吸着ガス及び溶解ガスの放出
3.ベーキング処理
4.その他脱ガス処理

<4>漏れ試験と漏れ対策
1.漏れ量の単位と取扱い
2.ヘリウムリークディテクタ(HLD)を使用しない漏れ試験
3.ヘリウム漏れ試験
4.組立・設計時における配慮

<5>真空中の放電防止
1.真空中の絶縁破壊現象
2.放電防止

【第7編 環境・安全・衛生対策と保守】
<1>環境と衛生
1.環境面と衛生面の現状と課題
2.真空技術を巡る危険有害性と環境阻害事例
3.ガス・化学物質管理
4.製品含有化学物質管理(RoHS)
5.PCB廃棄物の適正管理
6.エネルギー消費管理と環境低負荷

<2>リスクと機械安全
1.安全について
2.安全規制の背景
3.日本における機械安全
4.欧州CEマーキング
5.機械指令
6.真空関連機器についての欧州規格
7.適合性評価

<3>真空装置の保守と安全
1.真空装置の管理
2.保守面の課題
3.保守計画
4.真空ポンプの保守
5.真空計の保守

《第2部 真空応用システム》
【第1編 低・中真空の利用】
<1>真空利用の目的
1.真空の利用
2.真空利用の目的
3.〈差圧の利用〉事例
4.〈断熱の利用〉事例
5.〈蒸発の利用〉事例
6.〈無酸素環境の利用〉事例
7.〈放電の利用〉事例

<2>低真空・中真空応用の基礎
1.状態図
2.蒸気圧と蒸発速度
3.蒸発・凝縮速度
4.真空(凍結)乾燥と毛管モデル
5.毛管現象
6.真空蒸留

<3>真空凍結乾燥
1.真空凍結乾燥の基礎
2.凍結乾燥の応用

【第2編 金属材料の加工】
<1>電子ビーム溶接
1.概要
2.電子ビーム溶接の原理
3.電子ビーム溶接の特長
4.電子ビーム溶接の適用分野
5.電子ビーム溶接機

<2>低真空レーザ溶接
1.真空雰囲気下でのレーザ溶接
2.低真空レーザ溶接(ディスクレーザ16 kW)
3.低真空レーザ溶接(ファイバーレーザ100 kW)
4.低真空レーザ溶接部の評価試験

<3>減圧プラズマ溶射
1.減圧プラズマ溶射装置
2.減圧プラズマ溶射法(LPS)と大気圧プラズマ溶射法(APS)の特徴
3.LPSの施工手順
4.プラズマ溶射の原理・特徴
5.LPSとAPSのプラズマジェットの特性
6.LPS溶射皮膜特性

<4>真空加熱炉
1.真空加熱による効果
2.真空加熱炉の加熱方式
3.真空加熱炉の構成材料
4.真空加熱炉のバリエーション

<5>イオンビーム加工

【第3編 薄膜】
<1>薄膜形成の基礎
1.薄膜とは
2.薄膜の特徴
3.薄膜の物性と機能
4.薄膜形成法
5.新しい薄膜形成技術
6.薄膜形成におけるパラダイムシフト

<2>蒸着
1.真空蒸着
2.分子線エピタキシー(MBE)

<3>スパッタ成膜
1.スパッタリング法による工業的薄膜堆積
2.スパッタリング法による薄膜堆積に関わる真空およびプラズマの基礎
3.スパッタリング法による薄膜堆積技術
4.スパッタリング装置
5.種々のスパッタリング法
6.スパッタリング薄膜の構造と物性
7.スパッタリング法による薄膜堆積の工業的応用

<4>イオンビームを用いた薄膜形成技術
1.イオンを用いた薄膜形成技術の基礎
2.イオンプレーティング
3.アークイオンプレーティング
4.イオンビームアシスト蒸着
5.イオンを用いた有機薄膜形成

<5>パルスレーザ蒸着(PLD)
1.パルスレーザ蒸着の基礎
2.装置構成
3.アブレーション現象
4.PLDの応用

<6>化学気相成長法(CVD)
1.総論
2.CVD装置
3.半導体製造用CVDプロセス
4.半導体製造用単結晶エピタキシャル成長CVDプロセス
5.太陽電池用・フラットパネル用CVDプロセス
6.表面コーティングプロセス

<7>ドライエッチング
1.超微細加工プロセスにおける役割
2.ドライエッチングプラズマ
3.ドライエッチング装置の歴史
4.ドライエッチングパラメータ
5.反応性イオンエッチング(RIE)
6.RIEでの表面反応例(Si、SiO2)
7.ドライエッチングの例
8.ドライエッチングプロセスステップ
9.ドライエッチングにおける問題点
10.微細加工プラズマプロセスの今後の展望

<8>イオンビームエッチング
1.イオンビームエッチング
2.クラスターイオンビームエッチング
3.集束イオンビーム加工

<9>イオン注入
1.イオン注入の特徴
2.イオンの分布
3.イオン注入装置
4.イオン注入の半導体への応用

【第4編 分子ビーム技術】
<1>分子ビームの基礎
1.分子ビーム源
2.分子ビームの検出
3.差動排気システム
4.分子ビームの制御
5.分子ビーム回折
6.分子ビーム散乱分光
7.分子ビーム緩和分光

<2>超音速分子ビームの応用
1.超音速分子ビームによる吸着分子のマイグレーション
2.超音速分子ビームによる吸着反応ダイナミクス

<3>状態選別分子ビームの応用
1.六極電場による配向制御分子ビーム生成とその表面反応への応用
2.六極磁場によるスピン・回転状態選別酸素分子ビーム生成とその表面反応への応用
3.状態選別分子(原子)ビームの生成と気相反応ダイナミクスへの応用

<4>希ガス原子ビームの表面計測への応用
1.原子と表面の相互作用
2.希ガス原子散乱による表面構造の計測
3.希ガス原子散乱による吸着形態の計測
4.希ガス原子散乱による薄膜成長初期過程の実時間観測
5.希ガス原子散乱による吸着水素の計測
6.希ガス原子散乱による固さの計測

<5>レーザーデトネーション法による高速原子・分子ビーム生成とその表面反応への応用
1.開発背景
2.基本原理
3.装置構成
4.ビームキャラクタリゼーション
5.応用例

<6>金属原子ビームとその気相化学反応ダイナミクスへの応用
1.金属原子ビームの生成
2.金属原子ビームの測定
3.金属原子ビームの化学反応ダイナミクスへの応用

<7>クラスタービーム生成
1.レーザー蒸発法
2.マグネトロンスパッタリング法
3.超音速自由噴流法

<8>液体分子ビーム生成とその放射光分光
1.はじめに:液体分子線の必要性
2.液体分子線の状態
3.確認実験の概要
4.分子線温度と相
5.水液体分子線からの放出電子スペクトル

<9>微粒子ビームを用いたケイ素厚膜の作製と次世代蓄電池負極への応用
1.ケイ素負極の特徴
2.ガスデポジション法を用いた電極作製
3.ガスデポジション法を用いて得られたケイ素電極の負極特性

【第5編 表面分析】
<1>表面分析技術の概要

<2>電子を利用した分析技術
1.オージェ電子分光法(AES)
2.光電子分光法

<3>電子顕微鏡
1.透過電子顕微鏡
2.走査電子顕微鏡
3.低エネルギー電子顕微鏡・光電子顕微鏡
4.ヘリウムイオン顕微鏡

<4>X線検出分析法
1.電子線マイクロプローブ分析法(EPMA)
2.蛍光X線分析法

<5>電子回折
1.低速電子回折
2.反射高速電子回折

<6>イオン・レーザを利用した分析技術
1.二次イオン質量分析法
2.イオン散乱法
3.レーザ入射質量分析法

<7>探針を利用した観察法
1.走査トンネル顕微鏡
2.原子間力顕微鏡

<8>力学特性計測装置
1.超微小硬さ試験法の概要
2.ナノインデンテーション法による薄膜の機械的特性評価

【第6編 巨大真空システム】
<1>大型加速器
1.KEK
2.J-PARC
3.SPring-8/SACLA

<2>核融合
1.核融合装置の真空システム
2.プラズマ対向材料

<3>大型真空システム
1.大型スペースチャンバ
2.重粒子線がん治療施設

【第7編 真空が牽引する次世代先端科学技術】
<1>真空の極限に迫る:極高真空への挑戦
1.極高真空スピン偏極電子銃
2.極高真空プロジェクト
3.チタン材料による極高真空の実現
4.銅合金材料による極高真空の実現とその計測

<2>実環境測定のための真空システムとライフサイエンスへの応用
1.電子ビーム(電子顕微鏡)への応用(SEM)
2.電子ビーム(電子顕微鏡)への応用(TEM)
3.イオンビーム(質量分析法)への応用

<3>真空科学技術におけるナノテクノロジーの世界
1.ナノカーボン材料による電子源の開発
2.超伝導体のナノ構造を用いた高感度粒子検出器の開発
3.ナノスケール制御を目指した固液界面真空プロセスの開発
4.最近のグラファイト、グラフェンの新展開

<4>真空科学技術の規格・標準の進歩
1.真空の計量標準と工業標準

【第8編 環境・安全・衛生対策と法規】
<1>化学物質の排出等汚染防止関連法
1.大気汚染防止法
2.水質汚濁防止法
3.土壌汚染対策法

<2>化学物質管理の関連法
1.労働安全衛生法
2.特定化学物質の環境への排出量の把握等及び管理の改善の促進に関する法律
3.化学物質の審査及び製造等の規制に関する法律
4.その他の化学物質管理関連法

<3>製品安全および情報伝達の関連法
1.GHS
2.CLP規則
3.CEマーキング
4.CCC認証
5.各法律とPL法との関係

<4>廃棄物管理及び製品含有化学物質管理の関連法
1.ELV指令
2.WEEE指令
3.その他各国のWEEE
4.J-Moss(JIS C 0950)
5.廃電池指令
6.REACH規制

<5>機器の高効率化の関連法
1.ErP指令
2.エネルギースター(Energy Star)
3.トップランナー制度

【第9編 計算物理】
1.第一原理シミュレーション
2.表面反応における第一原理計算
3.固体表面における水素ダイナミクス
4.STMによる金属表面の観察
5.抵抗変化メモリ

■編集委員長■
笠井 秀明
明石工業高等専門学校長/大阪大学 名誉教授

■編集副委員長■
越川 孝範
大阪電気通信大学 名誉教授/重慶大学 客員教授、
大岩 烈
シエンタ オミクロン株式会社 代表取締役社長
髙橋 直樹
アトナープ株式会社 上級アプリケーションエンジニア

■編集顧問■
尾浦 憲治郎
大阪大学 名誉教授
岡野 達雄
放送大学 東京文京学習センター 所長・教授
一村 信吾
早稲田大学 研究戦略センター 教授
齊藤 芳男
東京大学 宇宙線研究所 宇宙基礎物理学研究部門 特任教授

■編集委員 幹事(50音順)■
栗巣 普揮
山口大学 大学院創成科学研究科 物質工学系専攻 准教授
小泉 達則
(元)キヤノンアネルバ株式会社 環境品質センター 環境推進部 部長
後藤 康仁
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻 准教授
寺岡 有殿
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学研究部門 関西光科学研究所 放射光科学研究センター 上席研究員
中村 健
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター
分析計測標準研究部門 ナノ分光計測研究グループ長
福田 常男
大阪市立大学 大学院工学研究科 電子情報系専攻 准教授

■編集委員 委員(50音順)■
岡野 夕紀子
株式会社岡野製作所 専務取締役
岡本 昭夫
(元)地方独立行政法人大阪産業技術研究所 電子・機械システム研究部 部長
濱口 宗久
株式会社大阪真空機器製作所 取締役
金澤 健一
大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 名誉教授
川人 洋介
大阪大学 接合科学研究所 准教授
金正 倫計
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 J-PARCセンター 加速器ディビジョン 副ディビジョン長
逆井 章
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 核融合エネルギー研究開発部門
那珂核融合研究所 上席研究員 サテライト・トカマク計画 プロジェクトチーム
篠原 真
株式会社島津製作所 上席執行役員 基盤技術研究所 副所長
(故)関口 雅行
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 重粒子医科学センター
重粒子線がん治療普及推進チーム 主任研究員
髙橋 大
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 環境試験技術ユニット 研究開発員
西村 節志
島津産機システムズ株式会社 顧問
長谷川 修司
東京大学 大学院理学系研究科 物理学専攻 教授
備前 輝彦
公益財団法人 高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員
福谷 克之
東京大学 生産技術研究所 基礎系部門 教授
間瀬 一彦
大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所 准教授
安江 常夫
大阪電気通信大学 大学院工学研究科 総合電子工学専攻

■執筆者(50音順)■
秋山 泰伸
東海大学 工学部 応用化学科 教授
新井 健太
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター
工学計測標準研究部門 圧力真空標準研究グループ長
井口 昌司
株式会社大阪真空機器製作所 堺工場 技術部顧問
池田 圭
株式会社アテナシス 代表取締役
伊藤 博光
アルバックテクノ株式会社 GCS本部 計測センター 製品安全室 主事
伊藤 雅章
大亜真空株式会社 技術部 部長
岩井 秀夫
国立研究開発法人物質・材料研究機構 技術開発・共用部門 材料分析ステーション
表面・微小領域分析グループ グループリーダー
岩田 茂樹
一般社団法人 東京環境経営研究所 執行理事
上田 良夫
大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻 教授
鵜飼 正敏
東京農工大学 大学院工学研究院 先端物理工学部門 教授
臼井 博明
東京農工大学 大学院工学研究院 有機材料化学部門 教授
薄井 洋行
鳥取大学 大学院工学研究科 化学・生物応用工学専攻 准教授
江利口 浩二
京都大学 大学院工学研究科 航空宇宙工学専攻 教授
大石 真也
公益財団法人 高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員
大久保 雅隆
産業技術総合研究所
大迫 信治
VISTA株式会社 代表取締役
大里 雅昭
株式会社荏原製作所 精密・電子磁事業カンパニー 精密機器事業部 環境製品技術部
大西 毅
株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 事業戦略本部 本部長付
大村 孝仁
国立研究開発法人物質・材料研究機構 構造材料研究拠点 副拠点長
大山 浩
大阪大学 大学院理学研究科 化学専攻 准教授
小笠原 弘道
明石工業高等専門学校 講師
岡田 美智雄
大阪大学 放射線科学基盤機構 教授
岡野 友紀子
株式会社岡野製作所 専務取締役
小川 真一
国立研究開発法人産業技術総合研究所 エレクトロニクス・製造領域
ナノエレクトロニクス研究部門 招聘研究員
小栗 英知
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 J-PARCセンター 加速器ディビジョン 研究主席
長田 利光
キヤノンアネルバ株式会社 フィールドソリューション事業部 コンポーネント開発部 部長
長田 容
公益財団法人 産業廃棄物処理事業振興財団 技術部長
小野 慎司
明石工業高等専門学校 准教授
小野寺 幹男
(元) 株式会社アルバック マテリアル事業部
笠井 秀明
明石工業高等専門学校長/大阪大学 名誉教授
金子 一秋
キヤノンアネルバ株式会社 装置事業部 装置開発第二部 部長
神谷 潤一郎
国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 J-PARCセンター 研究主幹
川上 雅人
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社 TFF開発本部
成膜開発センター エキスパート
川口 雅之
大阪電気通信大学 工学部 環境工学科 教授
川﨑 忠寛
一般財団法人 ファインセラミックセンター ナノ構造研究所 環境電子顕微鏡グループ主任研究員
川崎 洋司
住友重機械イオンテクノロジー株式会社 愛媛事業所 開発部 プロセスマネージャー
河瀬 元明
京都大学 大学院工学研究科 化学工学専攻 教授
川野輪 仁
株式会社イオンテクノセンター シニアリサーチャー
神野 晃宏
トーカロ株式会社 溶射技術開発研究所 次長
木ノ切 恭治
真空テクノサポート 代表
草野 英二
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科 教授
倉橋 光紀
国立研究開発法人物質・材料研究機構 先端材料解析研究拠点 表面物性計測グループ 主席研究員
栗巣 普揮
山口大学 大学院創成科学研究科 物質工学系専攻 准教授
黒井 隆
日新イオン機器株式会社 新事業推進部 テクニカルマーケティンググループ グループ長
黒澤 一
樫山工業株式会社 技術本部 第二技術開発部 課長
桑原 真人
名古屋大学 未来材料・システム研究所 高度計測技術実践センター 准教授
小池 土志夫
(元)株式会社アルバック
越川 孝範
大阪電気通信大学 名誉教授/重慶大学 客員教授、
後藤 実
宇部工業高等専門学校 機械工学科 教授
後藤 康仁
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻 准教授
小林 信一
埼玉大学 名誉教授
小松 永治
神港精機株式会社 装置事業部 真空装置技術部 開発課 課長
小森 彰夫
大学共同利用機関法人自然科学研究機構 機構長
近藤 実
(元)キヤノンアネルバ株式会社
近藤 行人
日本電子株式会社 EM事業ユニット 技師長
齊藤 丈靖
大阪府立大学 大学院工学研究科 物質・化学系専攻 准教授
齊藤 芳男
東京大学 宇宙線研究所 宇宙基礎物理学研究部門 特任教授
酒井 滋樹
日新イオン機器株式会社 イオンビーム機器事業部 イオンビーム技術開発2グループ グループ長
坂上 護
明石工業高等専門学校 客員教授
榊原 拓也
樫山工業株式会社 技術本部 第一技術開発部 課長代理
阪口 拓也
株式会社MORESCO 機能材開発部 作動油・真空油グループ
坂口 裕樹
鳥取大学 大学院工学研究科 化学・生物応用工学専攻 教授
逆井 章
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 核融合エネルギー研究開発部門
那珂核融合研究所 上席研究員
坂田 卓也
一般社団法人 東京環境経営研究所 シニアコンサルタント
桜井 英樹
サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー Solutions for Vacuum Systems Business Unit アプリケーションエンジニア
佐々木 優直
東京電子株式会社 真空技術部
佐々木 正洋
筑波大学 数理物理系 教授
塩野入 正和
三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部 技術開発センター 研究開発室 室長
白藤 立
大阪市立大学 大学院工学研究科 電子情報系専攻 教授
末次 祐介
大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 教授
須賀 三雄
日本電子株式会社 アプリケーション統括室 兼 経営戦略室 副室長
菅原 康弘
大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 教授
杉浦 哲郎
株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー 精密機器事業部 精密機器技術部 HD技術課
杉山 正和
東京大学 先端科学技術研究センター 教授
杉山 正行
キヤノンアネルバ株式会社 フィールドソリューション事業部 コンポーネント開発部
コンポーネント開発第三課 課長
鈴木 敏生
株式会社アルバック 技術開発部 真空要素技術開発部 真空要素技術研究室
鈴木 浩
一般社団法人 東京環境経営研究所 シニアコンサルタント
鈴木 基史
京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 教授
鈴木 雄二
東京大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 教授
住森 大地
(元)株式会社ナ・デックスプロダクツ レーザR&Dセンター
瀬木 利夫
京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻 講師
(故)関口 雅行
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 重粒子医科学センター
重粒子線がん治療普及推進チーム 主任研究員
関根 康一
株式会社ブイテックス 東海工場 設計部 主任技師
関根 尚
(元)助川電気工業株式会社 品質管理部 取締役部長
垰田 公司
アルバックテクノ株式会社 製品安全室 室長
高岡 毅
東北大学 多元物質科学研究所 講師
鷹野 一朗
工学院大学 工学部 電気電子工学科 教授
高橋 直
公益財団法人 高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員
髙橋 大
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 環境試験技術ユニット 研究開発員
髙橋 直樹
アトナープ株式会社 上級アプリケーションエンジニア
田川 雅人
神戸大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 准教授
滝川 浩史
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 教授
田中 智成
株式会社アルバック 技術開発部 真空要素技術開発部 部長
谷本 育律
大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 准教授
玉川 孝一
(元)株式会社アルバック
多持 隆一郎
株式会社日立ハイテクノロジーズ 科学・医用システム事業統括本部 科学システム営業本部 本部長付
蔡 徳七
大阪大学 大学院理化学研究科 化学専攻 講師
筑根 敦弘
大陽日酸株式会社 開発本部 事業開発統括部 専門部長
坪川 徹也
株式会社島津製作所 産業機械事業部 TMP技術グループ グループ長
寺岡 有殿
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 量子ビーム科学研究部門 関西光科学研究所 放射光科学研究センター 上席研究員
研谷 昌一郎
(元)アルバック・クライオ株式会社 京都低温技術開発センター 専門室長
土佐 正弘
国立研究開発法人物質・材料研究機構 構造材料研究拠点 接合・造型分野
トライボロジーグループ グループリーダー
中川 究也
京都大学 工学研究科 科学工学専攻 准教授
中沢 正彦
(元)株式会社フジキン 東京技術研究所長 (現)ジーエフ設計 代表
中嶋 敦
慶應義塾大学 理工学部 化学科 教授
中嶋 薫
京都大学 大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 准教授
那須 昭一
(故)(元)ウシオ電機株式会社 常務取締役
長田 光彦
アズビル株式会社 藤沢テクノセンター 技術開発本部 商品開発部
中村 健
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター
分析計測標準研究部門 ナノ分光計測研究グループ長
中村 誠
株式会社富士通研究所 デジタルアニーラプロジェクト
西川 博昭
近畿大学 生物理工学部 医用工学科 教授
西川 正晃
ウシオ電機株式会社 光源事業部 技術部門 第三技術部
西田 哲
岐阜大学 工学部 機械工学科 准教授
西村 健一
キヤノンアネルバ株式会社 生産技術部 生産技術課
長谷川 繁彦
大阪大学 産業科学研究所 第1研究部門(情報・量子科学系)准教授
長谷川 修司
東京大学 大学院理学系研究科 物理学専攻 教授
花井 正博
多田電機株式会社 応用機工場 営業部 営業第二課
花岡 隆
樫山工業株式会社 技術本部 第一技術開発部 副部長
羽深 等
横浜国立大学 大学院工学研究院 機能の創生部門 教授
早坂 孝宏
北海道大学 大学院医学研究院 消化器外科学教室Ⅰ 特任助教
林 広司
株式会社島津製作所 分析計測事業部 X線/表面ビジネスユニット プロダクトマネージャー
東堤 秀明
株式会社パスカル 取締役会長
樋口 誠司
株式会社堀場製作所 開発本部 第2製品開発センター 科学・半導体開発部 マネージャー
備前 輝彦
公益財団法人 高輝度光科学研究センター 光源基盤部門 主幹研究員
深津 晋
東京大学 大学院総合文化研究科 広域科学専攻 教授
福田 常男
大阪市立大学 大学院工学研究科 電子情報系専攻 准教授
藤井 麻樹子
横浜国立大学 大学院環境情報研究院 自然環境と情報部門 講師
細見 博
共和真空技術株式会社  取締役技術本部長
堀尾 吉已
大同大学 工学部 電気電子工学科 教授
本間 健二
兵庫県立大学 大学院物質理学研究科 物質科学専攻 特任教授
本間 芳和
東京理科大学 理学部第一部 物理学科 教授
町田 英明
気相成長株式会社 代表取締役
松浦 徹也
一般社団法人 東京環境経営研究所 理事長
松尾 二郎
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター 准教授
松田 真一
樫山工業株式会社 技術本部 第二技術開発部 副部長
松田 武志
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 筑波宇宙センター管理部 主任
松本 信彦
東京電子株式会社 真空技術部 部長
松本 祐司
東北大学 大学院工学研究科 応用化学専攻 教授
松本 善和
日本ブッシュ株式会社 テクニカルサービス本部 副本部長
三浦 豊
株式会社アルバック 技術開発部 解析・分析センター 部長
源 浩
入江工研株式会社 四国事業所 中山工場 技術グループ グループ長
三宅 雅人
奈良先端科学技術大学院大学 研究推進機構 准教授
村山 吉信
アルバック・クライオ株式会社 技術本部 第一技術部 部長
百瀬 健
東京大学 大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 講師
森 研人
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 有人宇宙技術部門 宇宙飛行士・運用管制ユニット 研究開発員
森 伸介
東京工業大学 物質理工学院 応用化学系 准教授
森山 孝男
株式会社リガク X線機器事業部 SBU WDX 大阪分析センター グループマネージャー
安江 常夫
大阪電気通信大学 工学部 基礎工学科 教授
矢部 学
入江工研株式会社 テクニカルセンター 開発グループ グループ長
山田 洋一
筑波大学 数理物理系 准教授
山野 英樹
芝浦エレテック株式会社 新規事業開拓推進センター 主幹
湯山 純平
(元)株式会社アルバック
横田 久美子
神戸大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 助手
吉川 保
有限会社フェイス 代表取締役
吉田 肇
国立研究開発法人産業技術総合研究所 計量標準総合センター 工学計測標準研究部門
圧力真空標準研究グループ 主任研究員
吉田 素朗
株式会社大阪真空機器製作所 名張工場 開発部
(故)渡辺 文夫
有限会社真空実験室 代表取締役

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